完全符合國標標準 YS/T 13-2007 高純四氯化鍺的檢測方法。

    本系統(tǒng)組成：本系統(tǒng)包含德國進口紅外光譜儀主機 1 套，專用的自動四氯化硅分析系統(tǒng)一套，適合不同濃度的密閉氣體池 4套，專用的自動采樣系統(tǒng) 1 套（實現(xiàn)在線和離線操作），連接管路1 套，維護工具包 1 個，本系統(tǒng)可以達到在線和離線實時檢測。

    該系統(tǒng)已經(jīng)在國內(nèi)多家生產(chǎn)四氯化硅多家企業(yè)成功應(yīng)用，測試速度快，密閉性無泄漏，測試精度高等優(yōu)點得到用戶一致認可。填補國內(nèi)行業(yè)空白。